1. 고출력 레이저의 기초
1.1 레이저광의 특징
1.2 레이저의 기본원리
1.3 레이저 광과 물질의 상호작용
1.4 레이저 빔의 균일화와 패턴 제어
2. 고출력 기체 레이저의 기초 기술
2.1 적외 기체 레이저
2.2 가시~자외(선 기체 레이저
3. 고출력 고체 레이저의 기초 기술
3.1 고출력 고체 레이저의 현황
3.2 LD여기 고체 레이저의 동작원리
3.3 고출력 반도체 레이저의 현상
3.4 고체 레이저의 열효과 제어 기초 기술
3.5 LD여기 대출력 고체 레이저의 현상
4. 중공업에서의 레이저응용기술
4.1 중공업에서 사용되는 레이저 기술
4.2 중공업분야에 있어서 레이저 가공의 실용화 예
4.3 개발 중인 새로운 레이저 가공기술
5. 자동차산업에서의 레이저 가공기술
5.1 자동차산업에 있어서 레이저 가공의 역사
5.2 최근의 응용사례
5. 자동차산업에서의 레이저 가공기술
5.1 자동차산업에 있어서 레이저 가공의 역사
5.2 최근의 응용사례
5.3 자동차산업에 있어서 앞으로의 레이저가공기술
6. 토목·건축에서의 레이저 응용기술
6.1 토목·건축업에서의 레이저 가공기술의 개황
6.2 건설업에서의 레이저 재료 가공분야
6.3 건설용 2차 제품의 레이저 가공
6.4 건설 현장에서의 레이저 응용
6.5 향후 전망
7. 반도체 산업에서의 레이저 응용기술
7.1 레이저 프로세스의 개요
7.2 엑시머 레이저 리소그래피
7.3 박막 형성(레이저 CVD
7.4 레이저 도핑
7.5 자기정합적 금속박막 형성
7.6 레이저 에칭
7.7 레이저 어블레이션과 다중파장 효과
저자 머리말
21세기를 빛의 세기라고 한지는 오래되었다. 그 기반기술인 레이저의 출현에 의한 것이다. 빛으로써의 레이저 광의 두드러진 특징으로 인해 과학기술에서부터 산업기술에 이르는 광범위한 분야에서 다양하고 독특한 이용기술이 개발되어 실용화되었다. 통신?정보산업에서의 광기술은 정보혁명의 주역으로서 장래의 고도 정보화 사회의 기반기술이 되고 있다. 제조업?공업에서의 레이저 에너지 응용은 레이저의 생체?의료응용과 더불어 지금까지 없었던 독특한 방법을 제공하고 있다. 레이저 기술의 진보가 지금까지의 한계성능 향상에서 실용 산업기기, 의료기기로서의 성숙도 향상으로 역점이 이동하면서 응용분야가 급속하게 확산되고 있어 바야흐로 빛의 세기를 맞이할 기반기술이 확립되고 있다. 이 책은 산업기술에서의 레이저 에너지 응용에 대한 현상을 폭넓게 살펴봄으로써 미래의 전망을 밝히려는 것이다. 레이저 파워는 머물지 않고 직진한다. 그것도 단지 방출 에너지가 클 뿐만 아니라 공간적으로 강하게 집속할 수 있고 시간적으로도 압축할 수 있는 제어성을 갖추고 있다.
연속출력 100kW의 레이저광을 파장 정도(회절한계까지 집광할 수 있어 통상의 용접, 절단, 홀가공뿐만 아니라 조선, 철강 등의 중공업에서부터 토목건축까지 새로운 기술체계를 구축할 수 있는 상황이 되었다. 노후화된 고가도로와 고층빌딩을 강력한 레이저광으로 자유롭게 조각내어 해체하는 등의 유쾌한 상상이 전혀 꿈같은 얘기는 아니다.
또한 레이저에 의한 초정밀 가공 및 표면처리 기술은 정밀공업에서부터 반도체 산업에 이르는 주요 프로세스 기술이 되고 있다. 엑시머 레이저 등의 단파장 레이저나 레이저 생성 X선에 의한 리소그래피, LIGA 프로세스 등의 새로운 기술도 X선 대응의 마스크, 레지스트 및 기타 주변기술의 진보와 함께 실용화가 진행되고 있다.
더욱이 고강도 펄스 레이저는 전세계의 피크전력에 상당하는 TW(테라 와트, 1,012~부터 PW(페타왓트, 1,015W의 레이저 출력을 일시에 방출
