목차
추천사 4
머리말 6
chapter 1 가스의 분류 및 정의 21
chapter 2 산업가스(Industrial Gases 알아보기 29
2.1 공기분리기의 분리공정 33
2.1.1 초저온 공기분리기(Cryogenic Air Separation / 34
2.2 공기분리기 안전 45
2.3 희소가스(Rare Gases 50
2.3.1 헬륨(Helium / 50
2.3.2 네온(Neon / 53
2.3.3 아르곤(Argon / 55
2.3.4 제논(Xenon / 58
2.3.5 크립톤(Krypton / 60
chapter 3 특수가스(Specialty Gases 알아보기 65
3.1 반도체 제조공정별 특수가스 71
3.1.1 다결정 실리콘 제조 / 71
3.1.2 에피탁시(Epitaxy / 72
3.1.3 에칭(Etching / 73
3.1.4 클리닝(Cleaning / 73
3.1.5 이온주입(Ion Implantation / 74
3.1.6 도핑(Doping / 75
3.1.7 어닐링(Annealing / 76
3.1.8 패시베이션(Passivation / 78
3.1.9 블랜켓팅(Blanketing / 78
3.2 메모리 반도체 79
3.3 특수가스의 제조공정 80
3.3.1 순수가스 / 80
3.3.2 혼합가스 / 84
3.4 특수가스에 사용되는 용기 88
chapter 4 가스의 유해성이란? 91
4.1 불연성(Non-flammable 93
4.2 가연성(Flammable 97
4.3 산화성(Oxidizer 100
4.4 부식성(Corrosive 103
4.5 독성(Toxic 105
4.5.1 독성물질의 체내 침입경로 / 110
4.5.2 독극물의 생체조직에 대한 영향 / 115
4.5.3 독성학 연구 / 115
4.6 물질안전보건자료(MSDS란? 120
4.6.1 물질안전보건자료(MSDS의 이해 / 120
4.6.2 물질안전보건자료 게시·비치 방법 / 121
4.6.3 화학
출판사 서평
가스산업계의 독보적인 전문가 추광호가 다년간의 실무경험을 바탕으로 집대성한 산업가스·특수가스의 이론과 실제
취업준비생부터 업계 최고 엔지니어까지, 최고의 가스 기술인이
되기 위해 반드시 읽어야 할 가스업계의 바이블
이 책은 과거 30여 년간 반도체 및 관련 산업에 사용되는 산업가스 및 특수가스에 대해 이론과 경험을 체계적으로 쌓을 수 있도록 집필하였으며 취업을 준비하는 학생부터 업계 최고 수준의 엔지니어까지 최고의 가스 기술인이 되기 위해서는 반드시 필요한 책이다.
-한종훈 서울대학교 엔지니어링개발연구센터 소장·서울대...
가스산업계의 독보적인 전문가 추광호가 다년간의 실무경험을 바탕으로 집대성한 산업가스·특수가스의 이론과 실제
취업준비생부터 업계 최고 엔지니어까지, 최고의 가스 기술인이
되기 위해 반드시 읽어야 할 가스업계의 바이블
이 책은 과거 30여 년간 반도체 및 관련 산업에 사용되는 산업가스 및 특수가스에 대해 이론과 경험을 체계적으로 쌓을 수 있도록 집필하였으며 취업을 준비하는 학생부터 업계 최고 수준의 엔지니어까지 최고의 가스 기술인이 되기 위해서는 반드시 필요한 책이다.
-한종훈 서울대학교 엔지니어링개발연구센터 소장·서울대학교 공학연구소 소장
가스 전반에 걸친 이론과 경험을 총망라하여 그 유해성에 따라 근본적인 위험성과 취급방법 및 안전을 보장하고 현실화하는 방법을 알려준다. 최고의 가스 기술인이 되기 위한 해답을 이 책에서 찾을 수 있을 것이다. 산업계에 이러한 훌륭한 지식을 선사한 저자에게 진심으로 감사를 전한다.
-이문용 현 원익부회장·전 삼성반도체 연구소장 부사장
이 책은 우리나라 가스 산업의 기술과 안전 및 취급을 한 단계 올리면서 더 넓은 세계로 우리를 이끄는 내비게이터의 역할을 하고 있다. 나아가 선진기술을 도입하고 적용하여 기술변화의 핵심을 포착하고 그 변화의 물결을 탈 수 있는 열쇠를 제공해주는 책이기도 하다. 그간 업계에서 목말랐던 시장의 규모, 사용의 목적, 주요 이론과 기술들을 총망라한 최
